vsgiuВестник Сибирского государственного индустриального университетаBulletin of the Siberian State Industrial University2304 - 44972307-1710Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный индустриальный университет"vsgiu-464Research ArticleХимия и химические технологииChemistry and chemical technologyТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ ТЕПЛОЕМКОСТИ И ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИХ ФУНКЦИЙ СПЛАВА AКLМ2, ЛЕГИРОВАННОГО ПРАЗЕОДИМОМ И НЕОДИМОМTEMPERATURE DEPENDENCE OF THE HEAT CAPACITY AND THERMODYNAMIC FUNCTIONS OF THE ALLOY AKLM2, ALLOYED WITH PRASEODYMIUM AND NEODYMIUMГаниевИ.Н.GanievI.N.vestnicsibgiu@sibsiu.ruНиёзовХ.Х.NiyozovH.H.vestnicsibgiu@sibsiu.ruГуловБ.Н.GulovB.N.vestnicsibgiu@sibsiu.ruНизомовЗ.NizomovZ.vestnicsibgiu@sibsiu.ruБердиевА.Э.BerdievA.E.vestnicsibgiu@sibsiu.ruТаджикский национальный университетРоссияTajik National UniversityRussian FederationРоссийско-Таджикский (Славянский) университетRussian FederationRussian-Tajik (Slavic) UniversityRussian Federation201728082025033239Copyright © Ганиев И., Ниёзов Х., Гулов Б., Низомов З., Бердиев А., 20252025Ганиев И., Ниёзов Х., Гулов Б., Низомов З., Бердиев А.Ganiev I., Niyozov H., Gulov B., Nizomov Z., Berdiev A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://vestnik.sibsiu.ru/jour/article/view/464

В отечественной и зарубежной практике для создания тонких металлических пленок при разработке интегральных микросхем наметился поворот от использования индивидуальных металлических материалов к сплавам на основе высокочистых металлов, содержащих два или более легирующих компонента. Такой поворот весьма естественен, поскольку при использовании в качестве проводникового материала чистых металлов возможен целый ряд технологических и эксплуатационных отклонений, устранить которые можно, используя процесс микролегирования. Однако на пути использования микролегирующих добавок возникает ряд проблем, незнание и пренебрежение которыми может привести к отрицательным результатам. 

В отечественной и зарубежной практике для создания тонких металлических пленок при разработке интегральных микросхем наметился поворот от использования индивидуальных металлических материалов к сплавам на основе высокочистых металлов, содержащих два или более легирующих компонента. Такой поворот весьма естественен, поскольку при использовании в качестве проводникового материала чистых металлов возможен целый ряд технологических и эксплуатационных отклонений, устранить которые можно, используя процесс микролегирования. Однако на пути использования микролегирующих добавок возникает ряд проблем, незнание и пренебрежение которыми может привести к отрицательным результатам. 

In domestic and foreign practice, for the creation of thin metal films in the development of integrated circuits, a turn has been outlined from the use of individual metal materials to alloys based on high-purity metals containing two or more alloying components. Such a turn is quite natural, since when using pure metals as a conductor material, a number of technological and operational deviations are possible, which can be eliminated using the microalloying process. However, a number of problems arise on the way to using microalloying additives, ignorance and neglect of which can lead to negative results.

In domestic and foreign practice, for the creation of thin metal films in the development of integrated circuits, a turn has been outlined from the use of individual metal materials to alloys based on high-purity metals containing two or more alloying components. Such a turn is quite natural, since when using pure metals as a conductor material, a number of technological and operational deviations are possible, which can be eliminated using the microalloying process. However, a number of problems arise on the way to using microalloying additives, ignorance and neglect of which can lead to negative results

ReferencesЛуц А.Р., Суслина А.А. Алюминий и его сплавы. – Самара: СГТУ, 2013. – 81 с.Луц А.Р., Суслина А.А. Алюминий и его сплавы. – Самара: СГТУ, 2013. – 81 с.Алюминиевые сплавы (Состав, свойства, технология, применение.) Справочник / Под общей ред. И.Н. Фридляндера. – Киев: Коминтех, 2005. – 365 с.Алюминиевые сплавы (Состав, свойства, технология, применение.) Справочник / Под общей ред. И.Н. Фридляндера. – Киев: Коминтех, 2005. – 365 с.Золоторевский В.С., Белов Н.А. Металловедение литейных алюминиевых сплавов. – М.: МИСиС, 2005. – 376 с.Золоторевский В.С., Белов Н.А. Металловедение литейных алюминиевых сплавов. – М.: МИСиС, 2005. – 376 с.Ниёзов Х.Х., Ганиев И.Н., Бердиев А.Э. Сплавы особочистого алюминия с редко-земельными металлами. – Душанбе: ЧДММ «Сармад компания», 2017. – 146 с.Ниёзов Х.Х., Ганиев И.Н., Бердиев А.Э. Сплавы особочистого алюминия с редко-земельными металлами. – Душанбе: ЧДММ «Сармад компания», 2017. – 146 с.Ganiev I.N., Mulloeva N.M., Nizomov Z., Obidov F.U. Temperature dependence of the specific heat and thermodynamic functions of alloys of the Pb-Ca system // High Temperature. 2014. Vol. 52. Iss. 1. P. 138 – 140.Ganiev I.N., Mulloeva N.M., Nizomov Z., Obidov F.U. Temperature dependence of the specific heat and thermodynamic functions of alloys of the Pb-Ca system // High Temperature. 2014. Vol. 52. Iss. 1. P. 138 – 140.Муллоева Н.М., Ганиев И.Н., Эшов Б.Б., Махмадуллоев Х.А., Низомов З. Теплофизическое свойства и термодинамические функции сплавов системы Pb-Sr. // Известия Самарского научно центра Российской Академии наук. 2014. Т. 6. № 6. С. 38 – 42.Муллоева Н.М., Ганиев И.Н., Эшов Б.Б., Махмадуллоев Х.А., Низомов З. Теплофизическое свойства и термодинамические функции сплавов системы Pb-Sr. // Известия Самарского научно центра Российской Академии наук. 2014. Т. 6. № 6. С. 38 – 42.Иброхимов Н.Ф., Ганиев И.Н., Низомов З., Ганиева Н.И., Иброхимов С.Ж. Влияние церия на теплофизические свойства сплава AMг2 // Физика металлов и металловедение. 2016. Т. 117. № 1. С. 53 – 58.Иброхимов Н.Ф., Ганиев И.Н., Низомов З., Ганиева Н.И., Иброхимов С.Ж. Влияние церия на теплофизические свойства сплава AMг2 // Физика металлов и металловедение. 2016. Т. 117. № 1. С. 53 – 58.Муллоева Н.М., Ганиев И.Н., Махмадул-лоев Х.А. Теплофизические и термодинамические свойства сплавов свинца с щелочноземельными метал-лами. – Германия: Изд. дом LAP LAMBERT Academic Publishing, 2013. – 152 с.Муллоева Н.М., Ганиев И.Н., Махмадул-лоев Х.А. Теплофизические и термодинамические свойства сплавов свинца с щелочноземельными метал-лами. – Германия: Изд. дом LAP LAMBERT Academic Publishing, 2013. – 152 с.Иброхимов С.Ж., Эшов Б.Б., Ганиев И.Н., Иброхимов Н.Ф. Влияние скандия на физико-химические свойства сплава AMг4 // Известия Самарского научного центра Российской Академии наук. 2014. Т. 16. № 4. С. 256 – 260.Иброхимов С.Ж., Эшов Б.Б., Ганиев И.Н., Иброхимов Н.Ф. Влияние скандия на физико-химические свойства сплава AMг4 // Известия Самарского научного центра Российской Академии наук. 2014. Т. 16. № 4. С. 256 – 260.Бердиев А.Э., Ганиев И.Н., Ниёзов Х.Х., Дадаматов Х.Д. Термодинамические функции сплава АК1М2, легированного неодимом: Материалы Международной научно-технической конференции «Нефть и газ Западной Сибири», посвященной 50-летию Тюменского индустриального института. – Тюмень: ТюмГНГУ, 2013. С. 88 – 93.Бердиев А.Э., Ганиев И.Н., Ниёзов Х.Х., Дадаматов Х.Д. Термодинамические функции сплава АК1М2, легированного неодимом: Материалы Международной научно-технической конференции «Нефть и газ Западной Сибири», посвященной 50-летию Тюменского индустриального института. – Тюмень: ТюмГНГУ, 2013. С. 88 – 93.Низомов З., Гулов Б.Н., Ганиев И.Н. и др. Исследование температурной зависимости удельной теплоемкости алюминия марок ОСЧ и А7 // Доклады АН Республики Таджикистан. 2011. Т. 54. № 1. С. 53 – 59.Низомов З., Гулов Б.Н., Ганиев И.Н. и др. Исследование температурной зависимости удельной теплоемкости алюминия марок ОСЧ и А7 // Доклады АН Республики Таджикистан. 2011. Т. 54. № 1. С. 53 – 59.Низомов З., Гулов Б.Н., Ганиев И.Н. и др. Температурная зависимость те-плоёмкости сплава АК1М2, легированного редкоземельными металлами // Доклады АН Республики Таджикистан. 2011. Т. 54. № 11. С. 917 – 921.Низомов З., Гулов Б.Н., Ганиев И.Н. и др. Температурная зависимость те-плоёмкости сплава АК1М2, легированного редкоземельными металлами // Доклады АН Республики Таджикистан. 2011. Т. 54. № 11. С. 917 – 921.Зиновьев В.Е. Теплофизические свойства металлов при высоких температурах: Справ. изд. – М.: Металлургия, 1984. – 384 с.Зиновьев В.Е. Теплофизические свойства металлов при высоких температурах: Справ. изд. – М.: Металлургия, 1984. – 384 с.Маджидов Х., Аминов Б., Сафаров М., Вахобов А., Обидов Ф.У. // Доклады АН Республики Таджикистан. 1990. Т. 33. № 6. С. 380 – 383.Маджидов Х., Аминов Б., Сафаров М., Вахобов А., Обидов Ф.У. // Доклады АН Республики Таджикистан. 1990. Т. 33. № 6. С. 380 – 383.Низомов З., Саидов Р.Х., Гулов Б.Н., Авезов З. Исследование температурной зависимости коэффициента теплоотдачи меди, алюминия А7 и цинка. – Материалы Международной конф. «Современные проблемы физики конденсированных сред и астрофизики». – Душанбе: Бахт LTD, 2010. С. 38 – 41.Низомов З., Саидов Р.Х., Гулов Б.Н., Авезов З. Исследование температурной зависимости коэффициента теплоотдачи меди, алюминия А7 и цинка. – Материалы Международной конф. «Современные проблемы физики конденсированных сред и астрофизики». – Душанбе: Бахт LTD, 2010. С. 38 – 41.Гулов Б.Н., Саидов Р.Х., Низомов З. Ис-следование температурной зависимости термодинамических свойств сплава АК1+2%Cu // Вестник Таджикского технического университета. 2012. Вып. 1 (17). С. 7 – 11.Гулов Б.Н., Саидов Р.Х., Низомов З. Ис-следование температурной зависимости термодинамических свойств сплава АК1+2%Cu // Вестник Таджикского технического университета. 2012. Вып. 1 (17). С. 7 – 11.Мальцев М.В. Модификаторы структуры металлов и сплавов. – М.: Металлургия, 1964. – 238 с.Мальцев М.В. Модификаторы структуры металлов и сплавов. – М.: Металлургия, 1964. – 238 с.Ганиев И.Н., Пархутик П.А., Вахобов А.В., Куприянова И.Ю. Модифицирование силуминов стронцием. – Минск: Наука и техника, 1985. – 143 с.Ганиев И.Н., Пархутик П.А., Вахобов А.В., Куприянова И.Ю. Модифицирование силуминов стронцием. – Минск: Наука и техника, 1985. – 143 с.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.